翘曲消除机构及SPDR夹具

摘要

本实用新型公开一种翘曲消除机构及SPDR夹具，用于对SPDR夹具的承载台上的薄板状样品进行翘曲消除处理，该翘曲消除机构包括配重部，配重部的相对两侧分别向SPDR夹具延伸出呈绝缘的支撑臂，支撑臂分别对应压于样品的两侧，消除样品的翘曲；配重部的重量分别被两侧的支撑臂所承担，而承担配重部重量的支撑臂则是压于翘曲的样品上用于消除样品翘曲的部件，使得支撑臂作用在样品上的压力得到增强，从而使得能将翘曲的样品的翘曲彻底消除，确保SPDR法测试结果的准确性；再则，由于支撑臂呈绝缘状，因此不会对测试造成任何影响；另，本实用新型还公开了一种具有翘曲消除机构的SPDR夹具。

主权项

一种翘曲消除机构，适用于对SPDR夹具的承载台上的薄板状样品进行翘曲消除处理，其特征在于：所述翘曲消除机构包括配重部，所述配重部的相对两侧分别向SPDR夹具延伸出呈绝缘的支撑臂，所述支撑臂分别对应压于所述SPDR夹具上的样品的两侧，消除样品的翘曲。