感光性树脂组合物、感光性树脂层压体、抗蚀图案形成方法、以及印刷线路板、引线框、半导体封装体和凹凸基板的制造方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其在制作干膜时的相容性良好，用i射线、h射线两类曝光机曝光时显示同等的感光度，且分辨率、附着力优异、可通过碱性水溶液显影，进一步优选显影时不产生凝聚物。一种感光性树脂组合物，其包括以下成分：20～90质量％的(a)特定的共聚成分进行共聚的、羧基含量以酸当量计为100～600，且重均分子量为5000～500000的热塑性共聚物、5～75质量％的(b)具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体、0.01～30质量％的(c)含有三芳基咪唑二聚体的光聚合引发剂、以及0.001～10质量％的(d)吡唑啉化合物。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其包括如下成分：20～90质量％的(a)热塑性共聚物，其是含有选自由苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄基酯组成的组中的至少一种化合物的共聚成分共聚而成的，羧基含量以酸当量计为100～600，且重均分子量为5000～500000；5～75质量％的(b)具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体；0.01～30质量％的(c)含有三芳基咪唑二聚体的光聚合引发剂；以及0.001～10质量％的(d)下述通式(III)表示的吡唑啉化合物，[化学式3]式中，R⁵表示碳原子数4～12的支链烷基。