光罩及检测其污染的方法

摘要

本发明是有关于一种光罩及检测其污染的方法。该光罩包含透明基材、掩模图案与检查结构。掩模图案形成于透明基材的第一区，其中掩模图案包含一个或多个开口，以及一个或多个特征。上述的开口用以允许光辐射通过，而特征的材质为第一材料。检查结构形成于透明基材上与第一区相异的第二区，且检查结构的材质为第二材料，其中第二材料与第一材料相异。

主权项

一种光罩，其特征在于其包含：一透明基材；一掩模图案，形成于该透明基材的一第一区，且该掩模图案包含：一个或多个开口，用以允许光辐射通过；及一个或多个特征，上述的特征的材质为一第一材料；以及一检查结构，形成于该透明基材上与该第一区相异的一第二区，且该检查结构的材质为一第二材料，其中该第二材料与该第一材料相异，该第二材料为亲水性，且该检查结构可被一光学显微镜或光学成像系统检查，而检测该光罩的污染状态。