一种AlN颗粒增强铜复合热沉材料的制备方法

摘要

一种AlN颗粒增强铜复合热沉材料的制备方法，本发明涉及热沉材料的制备方法。本发明是要解决现有的AlN颗粒增强铜复合热沉材料的制备工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的AlN颗粒增强铜复合热沉材料是由稀土化合物、AlN颗粒和电解铜制成；其中稀土化合物为Y2O3粉末。方法：先将稀土化合物、AlN颗粒、电解铜和硬脂酸球磨，然后预压后得到预制件，再将预制件先预烧，然后再在900～1300℃的温度下焙烧，得到AlN颗粒增强铜复合热沉材料。该材料的热导率在200w/mK以上，致密度在98％以上，热膨胀系数≤14ppm/K，可作为电子封装用热沉材料。

主权项

一种AlN颗粒增强铜复合热沉材料的制备方法，所述的AlN颗粒增强铜复合热沉材料是按质量百分比由1%～15%的粒径1～5μm的稀土化合物、10%～70%粒径为5～350μm的AlN颗粒和25%～89%的粒径为5～350μm的电解铜制成，其中稀土化合物为Y2O3粉末，其特征在于AlN颗粒增强铜复合热沉材料的制备方法按以下步骤进行：一、按质量百分比称取1%～15%的粒径1～5μm的稀土化合物、10%～70%粒径为5～350μm的AlN颗粒和25%～89%的粒径为5～350μm的电解铜；再按稀土化合物、AlN颗粒和电解铜质量之和的1%～5%称取硬脂酸；其中稀土化合物为Y2O3粉末；二、将步骤一称取的稀土化合物、AlN颗粒、电解铜和硬脂酸加入到球磨机中，其中球料质量比10：（1～2），在氮气或氩气保护下，球磨机以250～300r/min的转速，球磨混合1～10h，得到混合粉末；三、将步骤二得到的混合粉末放入磨具中，在压力为350～600MPa的条件下保压15min，得到预制件；四、将步骤三得到的预制件放入焙烧炉中，在氢气保护气氛下，以100～200℃/h的速率升温至500～800℃并保温1～3h，然后随炉冷却至室温，得到预烧件；五、将步骤四得到的预烧件放入焙烧炉中，在真空气氛或氩气保护下，以100～200℃/h的速率升温至900～1300℃并保温1～3h，然后随炉冷却至室温，得到AlN颗粒增强铜复合热沉材料。