多晶硅铸锭用新型石墨护板

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用新型石墨护板，为双层复合结构，一层为起坩埚支持作用的等静压石墨材料板，另一层为起保温作用石墨碳毡材料板。本实用新型结构合理，采用双层结构，在不降低石墨护板抗压能力的情况下，提高石墨护板的绝热性，从而实现石墨护板对坩埚内熔融硅的保温作用，减少坩埚侧壁的散热，是铸锭热场实现更为优化的垂直温度梯度，从而生产高质量的多晶硅锭或准单晶硅锭。

主权项

一种多晶硅铸锭用新型石墨护板，其特征是：为双层复合结构，一层为起坩埚支持作用的等静压石墨材料板，另一层为起保温作用石墨碳毡材料板。