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<p>조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치가 개시된다. 본 발명에 의한 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치는 네트워크를 통해 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)가 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190) 가운데 하나 이상으로 접근할 수 있도록 상기 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190)의 ip 구성을 제어하는 IP 컨트롤러(110); 반도체 계측장비(20)의 입력장치 커넥터에 연결되는 입력장치 연결수단(121); 상기 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 디스플레이 신호를 제공받는 영상연결수단(122); 및 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 입력장치 신호를 입력받으면 상기 입력장치 연결수단(121)을 통해 상기 반도체 계측장비(20)로 전송하는 KVM 제어수단(123);을 구비하는 KVM 모듈(120); 상기 KVM 모듈(120)로부터 상기 반도체 계측장비(20)에서 출력된 디스플레이 신호를 제공받아 스케일링 모듈로 제공하는 분배하는 영상분배기(130); 상기 영상분배기(130)로부터 입력된 아날로그 디스플레이 신호를 HD급 디지털 신호로 바꾸어 신호컨버터 모듈로 제공하는 스케일링 모듈(140); 스케일링 모듈(140)로부터 받은 영상을 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가하는 신호 컨버터 모듈(150); 상기 신호 컨버터 모듈(150)로부터 제공된 HD-SDI 영상을 저장하는 DVR 모듈(160); 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받으면, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 상기 반도체 계측장비(20)로 출력하는 조이스틱 신호처리 모듈(170); 상기 반도체 계측장비를 향하여 설치되어 영상을 촬영하되, 촬영된 영상을 DVR 모듈로 출력하는 하나 또는 그 이상의 카메라(180); 상기 반도체 계측장비(20)의 타워램프시그널 출력포트와 연결되는 통신수단(191); 및 상기 반도체 계측장비로부터 입력된 타워램프시그널을 판독하여 소정의 값에 해당할 때 이를 상기 원격지 컴퓨터(10)로 제공하는 ICS 제어수단(192);를 구비하는 ICS 모듈(190);을 구비한다.</p> |
