电容性元件传感器及其制造方法

摘要

本公开涉及电容性元件传感器及其制造方法。更具体地说，本公开涉及由附于电极的生物分子的电荷所产生的总电容的变化和用于测量该变化的传感器。

主权项

一种用于制造包括由介电层分开的第一电极、第二电极和第三电极并且相对于所述第一电极和所述第二电极测量由附于所述第三电极的生物分子的电荷所产生的电容的变化的电容性元件传感器的方法，所述方法包括以下步骤：在基板上形成所述第一电极和所述第二电极以彼此间隔开；在所述第一电极和所述第二电极上形成所述介电层；在所述介电层上形成所述第三电极；以及，对所述第三电极进行表面处理，使得特定生物分子能够附于所述第三电极。