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发明名称
Verfahren für das selektive Ätzen eines Isolatorstapels für einen Metallverbinder
摘要
申请公布号
DE112011101976(T5)
申请公布日期
2013.05.16
申请号
DE201111101976T
申请日期
2011.06.06
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
ZIN, KELVIN K.
分类号
H01L21/311;H01L21/768
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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