| 摘要 |
본 발명은 광근접 효과 보정 패턴을 포함하는 포토마스크 레이아웃의 생성 방법, 이를 수행하는 프로그램을 저장하는 컴퓨터에서 판독 가능한 저장 매체 및 마스크 이미징 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 포토마스크 레이아웃의 생성 방법은, 주패턴 및 SRAF 패턴을 포함하는 제 1 포토마스크 레이아웃을 제공하는 단계; 상기 제 1 포토마스크 레이아웃을 분할하여, 복수의 메시 셀들을 한정하는 단계; 상기 메시 셀들 중 적어도 하나 이상의 메시 셀에 대하여, 상기 SRAF 패턴의 결함을 개선하기 위한 보정 정보를 포함하는 룰 베이스 테이블을 생성하는 단계; 상기 룰 베이스 테이블의 값을, 상기 메시 셀에 속하는 상기 SRAF 패턴에 적용하여, 상기 SRAF 패턴을 수정하는 단계; 및 상기 주패턴 및 상기 수정된 SRAF 패턴을 포함하는 제 2 포토마스크 레이아웃을 제공하는 단계를 포함한다. |
