带电粒子束成像方法与其系统

摘要

在至少一第一扫描线下，使用第一带电粒子束探针以扫描样本；在至少一第二扫描线下，使用第二带电粒子束探针以扫描样本，及在至少一第三扫描线下，使用第一带电粒子束探针以扫描样本。成像系统之控制模组，藉由调整成像系统之聚焦透镜模组、物镜模组、成像系统之样本台或其组合，使第一或是第二带电粒子束探针失焦。样本的影像可选择由第一、第二及第三扫描线的扫描所形成。第一及第二带电粒子束在样本表面分别感应出第一及第二带电状态。第二带电状态可强化、缓和、抵销第一带电状态，反转带电状态的电荷极性的作用或者对第一带电状态不产生作用。