发明名称 一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法
摘要 本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法,包括如下步骤:首先,磷扩散炉排出的三氯氧磷气体进入缓冲箱内与进入缓冲箱内的自然风混合冷却;其次,冷却后的三氯氧磷气体被抽入抽风管并在抽风管内被喷淋的氨水中和液化落入抽风管底部的密封水箱;最后,液化并中和的三氯氧磷液体从密封水箱排出进入废水处理系统进行处理。本发明利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气,防止熔化抽风管的特氟龙涂层,同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。
申请公布号 CN103088429A 申请公布日期 2013.05.08
申请号 CN201310018278.7 申请日期 2013.01.17
申请人 陈功 发明人 陈功
分类号 C30B31/16(2006.01)I;H01L21/223(2006.01)I 主分类号 C30B31/16(2006.01)I
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人 胡根良
主权项 一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法,其特征在于包括如下步骤:首先,磷扩散炉排出的三氯氧磷气体进入缓冲箱内与进入缓冲箱内的自然风混合冷却,其中该缓冲箱包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱的内壁涂覆有特氟龙涂层,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构引导自然风进入缓冲箱,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口,炉管口部上设有炉帽,所述炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间,炉管口部顶接在卡环上,开口延嘴正对缓冲箱体右侧壁上的抽风管开口;其次,冷却后的三氯氧磷气体被抽入抽风管并在抽风管内被喷淋的氨水中和液化落入抽风管底部的密封水箱,密封水箱内储存的冷却碳酸氢钠溶液中和液态的三氯氧磷,其中该抽风管为U形管,抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口,进风口通过缓冲箱的抽风管开口与缓冲箱连通,抽风管另一端设有高于进风口的出风口,该出风口开口向上并连接抽风机,抽风机抽风将缓冲箱内冷却后的三氯氧磷气体抽入抽风管进风口,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管的左侧管道顶壁上设有氨水喷嘴进行氨水的雾状喷淋,所述抽风管底部开口并设有缩口结构;该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,所述缩口结构插入所述张口结构,缩口结构与张口结构密封并固定;最后,液化并中和的三氯氧磷液体从密封水箱排出进入废水处理系统进行处理,其中,密封箱体底部侧面设有进水口,密封箱体正对进水口的侧面在进 水口上方设有溢流排水口,所述密封水箱进水口通过管道与冷却罐连接,所述溢流排水口通过管道连接废水处理系统,所述冷却罐内盛装有碳酸氢钠冷却溶液,冷却罐内设有冷却盘管,所述冷却罐底部设有排放阀,冷却罐持续为密封水箱供应碳酸氢钠冷却溶液,多余的碳酸氢钠冷却溶液又从密封水箱的溢流排水口排入废水处理系统,利用持续流动的冷却碳酸氢钠溶液中和液态的三氯氧磷并排入废水处理系统。
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