电子部件的温度控制装置、检查装置以及处理装置

摘要

本发明提供一种冷却时和加热时响应性良好的电子部件的温度控制装置、检查装置以及处理装置。电子部件的温度控制装置具备：冷却循环装置，其具有在压缩机(1)、冷凝器(2)、膨胀器(6)以及蒸发器(7)中循环的致冷剂流路；导热块(9)，其具有可与作为温度控制对象的电子部件接触的外表面(9A)，且与该外表面(9A)对应的内表面(9B)以与蒸发器(7)可接触/隔离的方式对置配置；至少一个第一加热器(10)，其加热导热块(9)；和压缩空气供给回路(90)，其向蒸发器(7)和导热块(9)的对置面之间供给使它们隔离的压缩空气。

主权项

一种电子部件的温度控制装置，其中，具备：冷却循环装置，其具有在压缩机、冷凝器、膨胀器以及蒸发器中循环的致冷剂流路；导热块，其与所述蒸发器以能够接触或隔离的方式配置；至少一个第一加热器，其对所述导热块进行加热；第二加热器，其对在所述蒸发器与所述压缩机之间配置的致冷剂回收侧配管进行加热；热交换器，其配置在致冷剂从所述冷凝器向所述蒸发器流过的致冷剂供给侧配管和致冷剂从所述蒸发器向所述压缩机流过的所述致冷剂回收侧配管之间，并在所述致冷剂供给侧配管与所述致冷剂回收侧配管之间进行热交换，所述蒸发器与所述导热块的接触或隔离通过弹簧和压缩空气供给回路来进行，其中，所述弹簧位于所述导热块与所述蒸发器之间，通过斥力使所述导热块和所述蒸发器处于密接状态，所述压缩空气供给回路向所述蒸发器和所述导热块之间供给使所述蒸发器与所述导热块隔离的空气。