一种大直径超精密气体静压回转轴系

摘要

一种大直径超精密气体静压回转轴系，属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上，上浮板与下浮板固接，下浮止推板与固定支承座固接，上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接，上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内，径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接，主轴与下浮板固接，压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜，在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜，从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。

主权项

一种大直径超精密气体静压回转轴系，所述回转轴系包括下浮板（1）、连接板（4）、上浮板（5）、上浮止推板（6）、下浮止推板（7）、固定支承座（8）、内隔环（9）、径向轴瓦（10）、主轴（12）、内隔套（14）、数个下浮节流器（2）、数个上浮节流器（3）及数个径向节流器（13）；其特征在于：连接板（4）、上浮板（5）、上浮止推板（6）及下浮止推板（7）均为圆环形，下浮板（1）的横截面为圆形，下浮板（1）的上平面由内至外设有内环形槽和外环形槽，内环形槽和外环形槽的中心线与下浮板（1）的中心线重合，下浮板（1）的上平面中心处设有中心孔（1‑1），连接板（4）置于下浮板（1）的内环形槽内，上浮止推板（6）置于下浮板（1）的外环形槽内，主轴（12）设置在下浮板（1）上平面的中心处，固定支承座（8）的中心处设有与径向轴瓦（10）相配合的轴孔，径向轴瓦（10）套装在主轴（12）上，且径向轴瓦（10）套装在固定支承座（8）的轴孔及内隔套（14）内，内隔套（14）设置在固定支承座（8）与连接板（4）之间，内隔套（14）的外侧由内至外依次套装有上浮板（5）、内隔环（9）及下浮止推板（7），下浮板（1）上平面分别与上浮板（5）的下平面和主轴（12）的下平面固定连接，下浮止推板（7）的上平面与固定支承座（8）的下平面固定连接，上浮止推板（6）的上平面与内隔环（9）的下平面固定连接，内隔环（9）的上平面与固定支承座（8）的下平面固定连接，径向轴瓦（10）的下平面与连接板（4）的上平面固定连接，连接板（4）的上平面与内隔套（14）的下平面固定连接，内隔套（14）的上平面与固定支承座（8）的下平面固定连接，上浮止推板（6）上沿圆周方向均布设有数个第一轴向安装孔，每个第一轴向安装孔内装有一个上浮节流器（3），压缩空气通过上浮节流器（3）进入上浮止推板（6）和上浮板（5）之间的轴向间隙形成上浮气体静压止推气膜，由上浮板（5）、上浮节流器（3）和上浮止推板（6）组成上浮气体静压止推轴承，下浮止推板（7）上沿圆周方向均布设有数个第二轴向安装孔，每个第二轴向安装孔内装有一个下浮节流器（2），压缩空气通过下浮节流器（2）进入下浮止推板（7）和下浮板（1）之间的轴向间隙形成下浮气体静压止推气膜，由下浮板（1）、下浮节流器（2）和下浮止推板（7）组成下浮气体静压止推轴承，由上浮气体静压止推轴承和下浮气体静压止推轴承组成闭式圆环面气体静压止推轴承，径向轴瓦（10）的内环面设有数个径向安装孔，每个径向安装孔内装有一个径向节流器（13），压缩空气通过径向节流器（13）进入径向轴瓦（10）和主轴（12）之间的径向间隙形成径向气体静压支承气膜，由径向轴瓦（10）、主轴（12）和径向节流器（13）组成径向气体静压轴承。