氧化锌系透明导电溅镀靶材之制造方法

摘要

本发明氧化锌系透明导电溅镀靶材制造方法，在制程中添加适量的含碳物质，再进行烧结致密化制程，藉由碳与氧化锌作用而形成更多导电载子浓度来降低电阻率，所制得之氧化锌系透明导电靶材不仅密度高且电阻率小，其中电阻率的降低并未造成烧结密度的下降，故氧化锌系透明导电靶材具有较佳之溅镀品质及镀膜的特性良好之特性，其与ITO靶材水准十分接近。另外，本发明之氧化锌系透明导电材料系以氧化锌为主成分，并含有n型掺杂元素而形成具透明导电之特性，其中该氧化锌系列材料之料源充足、价格便宜，故生产成本低。