摘要 |
Sensor (1) zur taktilen Messung von Kräften, Momenten und Deformationen, umfassend ein Tastelement (12), Parallelfederanordnungen (4, 5), welche aus Silizium-Einzelfedern gebildet werden, die über Abstandsstücke verbunden sind, und mit piezoresistiven Widerständen (8), welche in einer Wheatstonschen Vollbrücke verschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, dass am Tastelement (12) eine erste und eine zweite Parallelfederanordnung (6, 7) um 90° zueinander versetzt in Reihe angeordnet sind, dass die Silizium-Einzelfedern der ersten und der zweiten Parallelfederanordnung (6, 7) mittels Abstandselementen (10, 11) und eines ersten Halterungselementes (9) beabstandet sind, dass weitere vier Parallelfederanordnungen (5.1, 5.2, 5.3, 5.4) ein Kreuz bilden und senkrecht zur ersten und zur zweiten Parallelfederanordnung (6,7) angeordnet sind, dass die Silizium-Einzelfedern der weiteren Parallelfederanordnungen (5.1, 5.2, 5.3, 5.4) durch das erste Halterungselement (9) sowie durch ein zweites Halterungselement (3) beabstandet sind, dass vier zusätzliche Parallelfederanordnungen (4.1, 4.2, 4.3, 4.4), die auch ein Kreuz bilden und rechtwinklig zu den weiteren vier Parallelfederanordnungen (5.1,...
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