一种耐低温超纯水循环净化终端装置

摘要

本实用新型公开了一种耐低温超纯水循环净化终端装置，包括水箱、供水泵和净化装置，所述的水箱包括外置水箱和内置水箱，外置水箱的外部进水口连接至外部水源，出水口连接至供水泵的输入口，供水泵的输出口连接至净化装置的输入口，净化装置的输出口连接至用水点的输入口，用水点的输出口连接至内置水箱的循环入口，内置水箱的循环出口分别连接至外置水箱的循环进水口和供水泵的输入口。本实用新型的技术效果在于，本装置对一般纯水中加入乙二醇后进行双极去离子纯化处理，紫外杀菌处理，脱气处理等，并实行自动检测水质电阻率及气体含量，智能实行自循环和用水点用水自动切换，既保证了超纯水水质，又能在零下30℃超低温下使用。

主权项

一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，包括水箱、供水泵和净化装置，所述的水箱包括外置水箱和内置水箱，所述的外置水箱设有外部进水口、循环进水口和出水口，所述的内置水箱设有循环入口和循环出口，外置水箱的外部进水口连接至外部水源，出水口连接至供水泵的输入口，供水泵的输出口连接至净化装置的输入口，净化装置的输出口连接至用水点的输入口，用水点的输出口连接至内置水箱的循环入口，内置水箱的循环出口分别连接至外置水箱的循环进水口和供水泵的输入口。