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发明名称 GROUP III-V DEVICES WITH DELTA-DOPED LAYER UNDER CHANNEL REGION
摘要
申请公布号 EP2359405(A4) 申请公布日期 2013.04.10
申请号 EP20090835479 申请日期 2009.12.02
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 HUDAIT, MANTU K.;TOLCHINSKY, PETER G.;CHAU, ROBERT S.;RADOSAVLJEVIC, MARKO;PILLARISETTY, RAVI;BUDREVICH, AARON A.
分类号 H01L29/778;H01L21/336;H01L29/36 主分类号 H01L29/778
代理机构 代理人
主权项
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