磁控溅镀机

摘要

一种磁控溅镀机，其包含一载板、一磁铁组、至少一中间磁环、一靶材以及至少一导磁铁环，该磁铁组系设置于该载板之一承载表面，该磁铁组系包含有一永久磁铁及一外部磁铁环，该中间磁环系设置于该磁铁组之该永久磁铁与该外部磁铁环之间，该靶材系设置于该磁铁组上方且具有一朝向该承载表面之第一表面，该导磁铁环系设置于该第一表面。