射束偏转方法、扫描用的射束偏转器、离子注入方法、和离子注入系统

摘要

一种扫描用之射束偏转器对在真空空间中具有一规则轨迹之带电粒子射束施行偏向，以藉此周期性地改变该带电粒子射束之轨迹。该射束偏转器包括一对偏转电极，其设置成可面对每一内部电极表面，该内部电极表面具有一在射束轨迹之方向中延伸的对称凹面。