光学镀膜装置

摘要

本发明系关于一种光学镀膜装置，包括真空镀膜室、基板承载机构、复数个坩埚系统及复数个修正板，其中基板承载机构设置于真空镀膜室之上部，坩埚系统位于真空镀膜室内基板承载机构下部，其中该复数个修正板藉由旋转机构可旋转的遮盖于基板承载机构与坩埚系统之间。