DEVICE AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE SURFACES

摘要

Eine Vorrichtung zur Behandlung einer Substratbehandlungsfläche (9o) eines Substrats (9) mit einem Fluid (8) durch Eintauchen der Substratbehandlungsfläche (9o) in das Fluid (8), mit folgenden Merkmalen: Aufnahmemittel (5) zur Aufnahme des Fluids (8) mit einer Eintauchöffnung und Eintauchmittel (19) zum Eintauchen der Substratbehandlungsflächen (9o) durch die Eintauchöffnung (5e) in das Aufnahmemittel (5), ist dadurch gekennzeichnet, dass Rotationsmittel (13) zur Rotation des Aufnahmemittels (5) zum zumindest überwiegenden Austrag des Fluids (8) aus dem Aufnahmemittel (5) vorgesehen sind, sowie eines Verfahrens zur Behandlung mindestens einer Substratsbehandlungsfläche (9o) eines Substrats (9) mit einem Fluid (8) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: Eintauchen der Substratbehandlungsfläche(n) in das in einem Aufnahmemittel (5) zur Aufnahme des Fluids (8) aufgenommenes Fluid (8), Rotation des Aufnahmemittels (5) zum Entleeren des Fluids aus dem Aufnahmemittel (5).