一种电感耦合式的等离子体处理装置及其基片处理方法

摘要

本发明涉及一种电感耦合式的等离子体处理装置及其基片处理方法，通过设置导磁材料制成的磁力线调整部件，构成一准闭合的低磁阻通路作为磁力线回路在反应腔外流通的路径，所述低磁阻通路将感应磁场的大部分磁力线路径进行规范，以此收集原先发散的大部分磁场能量，从而使反应腔的磁场强度倍增；或者，仅需要比现有更少的能源供给，就能以同样的磁场强度生成处理用的等离子体，提高了能源的利用效率。还显著减少RF电磁泄漏，降低对环境的电磁干扰，减低设备的发热，增加了系统的可靠性与稳定性。磁力线调整部件设置了相对延伸的突出部分与两个磁极相对应，使两个磁极之间的磁力线为均匀线性分布，以改善基片表面的等离子体分布的均匀性。

主权项

一种电感耦合式的等离子体处理装置，包含：引入有反应气体（50）的反应腔（20）；所述反应腔（20）包含固定待处理基片（30）的底部基座，以及与之相对的反应腔顶部；所述反应腔（20）外周围设置有感应线圈（40），其与第一射频源（RF1）连接产生一感应磁场，其特征在于，还包含：在反应腔（20）外周围设置的由导磁材料制成的磁力线调整部件（10），该导磁材料的磁阻小于空气或真空的磁阻，该磁力线调整部件（10）在反应腔（20）外周围构成一个准闭合的低磁阻通路（41）；使所述感应线圈（40）产生的磁力线沿所述低磁阻通路（41）构成一个磁力线回路，所述磁力线回路穿过反应腔（20）。