滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置

摘要

本发明涉及一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置。具体地，对于在着色层的边界部分具有将相邻的着色层的端缘部分相互层叠的隔壁等的突起状构造物的滤色片，可以通过触头的扫描，来对超越突起状构造物高度的突起缺陷进行高精度地测量。因此，将触头（304a）、（504a）的棱线（304b）、（504b）设定成相对于扫描方向呈45度交叉的方向，且将棱线（304b）、（504b）的长度设定成棱线（304b）、（504b）同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁（105）（突起状构造物）上的长度（L）。由此，触头（304a）、（504a）在扫描中不会落入隔壁（105）之间的着色层（101）～（103）上，一边与隔壁（105）的顶点接触一边扫描，将隔壁（105）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度（H2）的高度突起缺陷（FA）进行测量。

主权项

一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器，所述滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，其特征在于，所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状。