基板昇降装置及基板处理装置

摘要

本发明提供一种即使在真空处理装置中，亦不会发生昇降销单方接触，可使基板安定昇降之基板昇降装置及基板处理装置。;上推板32的围绕筒体34系中空状且顶部34a具有开口，在该开口插入昇降销基端部9的下部。在上推板32的上面32a配备滚珠轴承35，在与上推板32相对的围绕筒体34的顶部内面34b配备滚珠轴承36。藉由滚珠轴承35抵接在设于昇降销基端部9的凸缘9a下面，且滚珠轴承36抵接在凸缘9a上面的方式，夹住昇降销基端部9的凸缘9a而支撑昇降销8。