用于光罩资料准备的方法与系统

摘要

总括来说，本发明描述一种用于光罩资料准备的方法，以供包括一起始多边形之初步光罩布局使用，该起始多边形之顶点包括I-点(该起始多边形之顶点具有大于90度的一内角)，该方法包括在该起始多边形之至少该等I-点上发展一直线分割树，以及使用该分割树之该等边缘将该起始多边形之该分割界定为用于光罩写入的子多边形之步骤。