发明名称 Verarbeitung von Substraten unter Verwendung eines temporären Trägers
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren, enthaltend: Befestigen eines Vorrichtungssubstrats auf einem Träger unter Verwendung eines Adhäsionselements oder mehrerer Adhäsionselemente; Bilden elektronischer Elemente auf dem Vorrichtungssubstrat, wobei das Vorrichtungssubstrat derart auf dem Träger befestigt ist; anschließendes Verringern der Adhäsionsstärke des einen Adhäsionselements oder wenigstens eines der mehreren Adhäsionselemente, um ein Lösen des Substrats von dem Träger zu ermöglichen.
申请公布号 DE112011101899(T5) 申请公布日期 2013.03.21
申请号 DE201111101899T 申请日期 2011.06.03
申请人 PLASTIC LOGIC LTD. 发明人 WATT, JAMES
分类号 H01L21/683;H01L29/786 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
地址