| 发明名称 | 设有测温装置的真空腔体 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种设有测温装置的真空腔体，该真空腔体主要包括：一腔体；一第一板材；一第二板材；一第三板材；一第四板材；一第五板材；以及多个测温装置。该真空腔体结构可提升腔体耐热温度，并可通过测温装置设置，精准地监控真空腔体内部温度，以提高加工品质。 | ||
| 申请公布号 | CN202816888U | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201220481609.1 | 申请日期 | 2012.09.20 |
| 申请人 | 钜永真空科技股份有限公司 | 发明人 | 郭勋聪;洪婉玲;蔡俊毅 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 张瑾 |
| 主权项 | 一种设有测温装置的真空腔体，其特征在于，包括：一腔体，其中该腔体底部包括一承载板且该承载板设有四个边以形成该腔体，依次包括一第一边、一第二边、一第三边以及一第四边；一第一板材，垂直于该第一边； 一第二板材，垂直于该第二边并平行于该第一板材；一第三板材，垂直于该第三边；一第四板材，垂直于该第四边并平行于该第三板材；一第五板材，邻近于该承载板；以及多个测温装置，设置于该腔体内部。 | ||
| 地址 | 中国台湾台南市安定区港口240-7号 | ||