一种测试装置及其测试方法

摘要

本发明提供一种测试装置，包括基座，电测试部件，显微镜固定器以及显微镜，所述电测试部件设置于所述基座之上，所述显微镜固定器固定于所述基座上，所述显微镜通过所述显微镜固定器固定于所述电测试部件的上方，所述电测试部件包括载物台和探针，所述载物台用于固定被测器件，所述探针固定于所述载物台内，对所述被测器件的电气特性进行测试。本发明提供的测试装置及其测试方法可实现对微机电产品进行电测试，同时还可实现对微机电产品内部机械结构的功能进行测试。该测试装置采用将多个探针固定于载物台的方式取代了传统电测试方法所使用的探针卡，大大降低了测试成本。

主权项

一种测试装置，包括基座，电测试部件，显微镜固定器以及显微镜，所述电测试部件设置于所述基座之上，所述显微镜固定器固定于所述基座上，所述显微镜通过所述显微镜固定器固定于所述电测试部件的上方，其特征在于，所述电测试部件包括载物台和探针，所述载物台用于固定被测器件，所述探针固定于所述载物台内，对所述被测器件的电气特性进行测试，所述载物台包括承载层、探针固定层及信号传输层，所述各层之间通过螺母固定，所述承载层的表面具有卡槽，用以放置被测器件，所述卡槽的底部具有贯通的第一真空沟道以及第一探针孔，所述探针固定层内具有垂直贯通的第二探针孔，所述第二探针孔与所述承载层的第一探针孔对齐贯通，所述探针插入至所述第二探针孔及第一探针孔中，所述探针的针头向上突出于所述卡槽的底面，所述信号传输层内具有信号线接口，所述信号线接口的一端连接所述探针，所述信号线接口的另一端连接测试仪。