角度传感器、其制造方法及使用其的角度检测装置

摘要

本发明提供一种高输出、高精度、运转温度范围宽的角度传感器及角度检测装置。从采用由强反强磁性地结合有2层强磁性膜构成的自钉扎型强磁性固定层的自旋阀磁阻效应膜制作第一至第八传感器单元511、522、523、514、531、542、543、534。对于各个传感器单元而言，通过以彼此相差90°的角度起磁了的薄膜的形成及图形化、绝缘膜形成而制作。通过在强磁性膜中使用居里温度接近的CoFe及FeCo膜、使磁化量的差为零，实现高的耐外部磁场性及高温度适应范围、高输出。

主权项

一种角度传感器，其特征在于，具有隔着绝缘膜、在膜厚方向上叠层多个传感器单元的阶层构造，所述传感器单元是磁阻效应型传感器单元，所述多个传感器单元中每一个都具有自销型强磁性固定层、非磁性中间层及软磁性自由层，自销型强磁性固定层由隔着反平行结合膜、使第一强磁性膜与第二强磁性膜反强磁性地结合而成，所述第一强磁性膜与第二强磁性膜的居里温度大约相同且磁化量的差实质上为零，所述多个传感器单元中的属于不同阶层的传感器单元的强磁性固定层的磁化分别朝向不同的方向，由所述多个传感器单元组成输出对应于外部磁场的信号的桥接电路。