三端垂直腔面发射激光器(VCSEL)以及用于操作三端VCSEL的方法

摘要

本发明涉及三端垂直腔面发射激光器(VCSEL)以及用于操作三端VCSEL的方法，具体提供了一种三端VCSEL，该三端VCSEL具有减少的下降时间，允许VCSEL以更高的速度工作。也提供了操作该三端VCSEL的方法。当处于逻辑HIGH状态时，该VCSEL能够在不降低VCSEL的光输出的条件下以更高的速度工作。

主权项

一种三端垂直腔面发射激光器(VCSEL)，其包括：衬底，其具有至少顶表面和底表面；发射极接触，其对应于第一端；第一多个n型层，其布置在所述衬底的所述顶表面的上面，其中所述第一多个n型层包括作为第一分布式布拉格反射器(DBR)工作的交替的高折射率层和低折射率层的对；至少一个n型腔限制层，其布置在所述第一多个n型层的上面；包含一个或多个量子阱的多个活性层，所述多个活性层布置在所述n型腔限制层的上面，所述活性层包括发光材料并且是轻p‑掺杂的或本征的；至少一个p型腔限制层，其布置在所述多个活性层的上面；基极接触，其布置在所述p型腔限制层上或所述p型腔限制层的一部分中，使得所述基极接触与所述活性层中的至少一个活性层接触，所述基极接触对应于VCSEL的第二端；第二多个n型层，其布置在所述p型腔限制层的一部分的上面，其中所述第二多个n型层包括作为反射器工作的交替的高折射率层和低折射率层的对；以及集电极接触，其布置在所述第二多个n型层中的至少一个n型层上或者所述第二多个n型层中的至少一个n型层的一部分中，使得所述集电极接触与所述第二多个n型层中的至少一个n型层接触，并且其中所述集电极接触对应于所述VCSEL的第三端。