有机层沉积设备和有机发光显示装置

摘要

本实用新型公开了一种有机层沉积设备和一种有机发光显示装置。所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，固定地支撑作为沉积目标的基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层；第一输送器单元，用来将固定地支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元穿过室的内部，第一输送器单元包括引导单元，引导单元具有接纳构件，用来使静电吸盘可沿着一定的方向移动。根据本实用新型的有机层沉积设备可以容易地制造，可以应用于以简单的方式大规模地制造大型显示装置，并且提高了制造产率和沉积效率。

主权项

一种有机层沉积设备，其特征在于，所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，支撑基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件在由静电吸盘支撑的基板上沉积至少一层有机层；以及第一输送器单元，穿过所述室并且将支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元包括引导单元，引导单元包括接纳构件，以使在静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时使静电吸盘能够沿着一定的方向移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开，基板或有机层沉积组件被构造成在沉积过程中相对于另一者移动。