一种超材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种超材料及其制备方法，在真空环境下，将蒸镀容器中所需成膜的金属加热至蒸发温度，使金属升华，在低温的基板上形成晶核，然后长大合并形成厚度均匀的金属膜。利用真空蒸镀法为基板镀膜，制成的金属膜纯度高，厚度也可以根据蒸镀时间控制至纳米量级；并且成膜快、效率高，工艺重复性好，无污染、环保；大大减少了金属用量，尤其当选择贵金属作为超材料微结构时，可以降低成本。

主权项

一种超材料的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：将洁净并干燥后的基板放置在蒸镀容器内的工作台上；在真空环境下，将蒸镀容器内的金属加热直至升华成为金属蒸汽；所述的金属蒸汽通过掩膜板在基板上形成一层均匀的金属膜，金属膜图案为超材料的微结构。