发明名称 |
自动水平测试系统 |
摘要 |
本实用新型揭示了一种自动水平测试系统,该自动水平测试系统包括:用于感应待测物体在水平二维平面上水平信息的感应单元,所述感应单元设置于待测物体上;用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元,所述控制单元连接于所述感应单元;用于显示所述水平位置数据的显示单元,所述显示单元连接于所述控制单元。本实用新型得到的自动水平测试系统能精确地测试整个二维平面的水平状态。 |
申请公布号 |
CN202793388U |
申请公布日期 |
2013.03.13 |
申请号 |
CN201220520493.8 |
申请日期 |
2012.10.11 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
金嵩;林保璋 |
分类号 |
G01C9/34(2006.01)I;G01C9/32(2006.01)I |
主分类号 |
G01C9/34(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种自动水平测试系统,用于测试待测物体水平状态,所述自动水平测试系统包括:用于感应待测物体在二维平面上的水平信息的感应单元,所述感应单元设置于待测物体上;用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元,所述控制单元连接于所述感应单元;用于显示所述水平位置数据的显示单元,所述显示单元连接于所述控制单元。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |