表面检查装置及表面检查方法

摘要

一种可检查多数形成于板状物体外周缘部之面的表面检查装置，该表面检查装置包含有可拍摄形成有板状物体的多数面之外周缘部的摄影装置、及可处理利用摄影装置而得之影像的影像处理装置，其中，该摄影装置具有可引导板状物体的多数面影像至同一方向之光学系统、及摄像面，并利用单一照相单元构成，且该单一照相单元系配置成可使藉由光学系统而引导至同一方向之多数面影像于摄像面成像。