探针保护系统及方法

摘要

本发明提供一种探针保护系统，该系统包括氮气产生装置、氮气输送管道及测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N≥1；所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。本发明还提供了一种探针保护方法，解决了探针卡的探针被氧化的问题，从而延长探针的使用寿命，降低测试成本。本发明还可以从一定程度上去除晶圆上的杂质，从而提高初测的良率。

主权项

一种探针保护系统，其特征在于包括氮气产生装置、氮气输送管道、测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N≥1；所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。