镀膜治具及镀膜装置

摘要

本发明涉及一种镀膜治具，其包括：至少一转轴，及与该转轴连接之至少一具有立体结构之基片夹具模组，该转轴用于带动该基片夹具模组转动，该基片夹具模组由围绕该转轴排布之至少三个该基片夹具构成。本发明还涉及一种采用该镀膜治具之镀膜装置。该镀膜治具及镀膜装置采用立体结构之基片夹具模组以承载待镀膜之光学元件，其空间利用率高，单位空间中，承载待镀膜之光学元件数量多，因此，于一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空之次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置之生产效率，以及降低生产成本。