| 主权项 |
一种用双真空规气路转换测量材料放气率的装置，其特征在于：所述装置包括：第一机械泵（1）、第一分子泵（2）、第一真空阀门（3）、第二分子泵（4）、下游室（5）、第一小孔（6）、第一上游室（7）、第二上游室（8）、第二小孔（9）、第一真空规（10）、第二真空阀门（11）、第二真空规（12）、第三真空阀门（13）、第三真空规（14）、第四真空阀门（15）、第五真空阀门（16）、第六真空阀门（17）、第四真空规（18）、样品室（19）、样品（20）、第七真空阀门（21）、第三分子泵（22）、第二机械泵（23）；第一机械泵（1）、第一分子泵（2）、第一真空阀门（3）、第二分子泵（4）、下游室（5）依次相连，下游室（5）通过第一小孔（6）与第一上游室（7）相连通，下游室（5）通过第二小孔（9）与第二上游室（8）相连通，第一真空规（10）与下游室（5）相连；下游室（5）与第二真空阀门（11）的一端相连，第二上游室（8）与第三真空阀门（13）的一端相连，第二真空阀门（11）的另一端和第三真空阀门（13）的另一端合成一路后与第二真空规（12）相连；第三真空规（14）通过第四真空阀门（15）与第二上游室（8）相连；第二上游室（8）与第五真空阀门（16）的一端相连，第一上游室（7）与第六真空阀门（17）的一端相连，第五真空阀门（16）的另一端和第六真空阀门（17）的另一端合成一路后与样品室（19）相连；样品（20）位于样品室（19）中第四真空规（18）、样品室（19）还通过第七真空阀门（21）与第三分子泵（22）、第二机械泵（23）依次相连；所述第一小孔（6）和第二小孔（9）的流导值相同。 |
