发明名称 |
一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备 |
摘要 |
一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备,其特征在于:所述的柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备包括,12个模块式真空室及8个翻板门阀,3套无油高真空抽气机组及真空测量系统,磁力耦合传动轴、磁悬浮导向基片架循环传送系统,电气控制柜,红外管式加热系统,可控气氛的工艺气体系统,水冷却循环系统和动力气源系统;以薄膜多层膜系的方式在柔性不锈钢基板上镀制导电膜,柔性基板在镀膜时处于绝缘状态。本实用新型的优点:解决了柔性基板的装夹问题,可以实现多种沉积方式,产品膜系丰富,可以大面积镀膜。保证产品膜层的均匀性、一致性、连续性和可控性,可以工业化生产,工件架识别系统运用,工艺质量有可追溯性。 |
申请公布号 |
CN202730224U |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201220357912.0 |
申请日期 |
2012.07.23 |
申请人 |
陈晓东 |
发明人 |
陈晓东;张毅;赵越 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 |
代理人 |
任玉龙 |
主权项 |
一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备,其特征在于:所述的柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备包括,12个模块式真空室及8个翻板门阀,3套无油高真空抽气机组及真空测量系统,磁力耦合传动轴、磁悬浮导向基片架循环传送系统,电气控制柜,红外管式加热系统,可控气氛的工艺气体系统,水冷却循环系统和动力气源系统;1#真空室和12#真空室各配有一套无油抽气系统,在底部抽气,在顶部喷淋式充氮气至大气压;从2#真空室到11#真空室采用侧装分子泵做主泵,集合成一套无油抽气系统,前级是2套无油真空泵机组;每个真空室有磁力耦合传动轴,磁力驱动的传动轴没有真空泄漏问题;以薄膜多层膜系的方式在柔性不锈钢基板上镀制导电膜,柔性基板在镀膜时处于绝缘状态。 |
地址 |
110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号,沈阳IC装备产业园M座109室 |