发明名称 |
表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法和制造装置 |
摘要 |
本发明涉及表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法,其将表面被脱模剂处理过的辊状模具表面的微细凹凸结构转印到薄膜(物品主体)的表面,从而制造表面具有微细凹凸结构的物品,该制造方法包括:将微细凹凸结构转印到薄膜的表面;测定将所述薄膜从模具剥离后的辊状模具表面的红外分光光谱;以及基于所述红外分光光谱判定辊状模具表面的脱模剂的状态好坏。本发明可提供能在线且简便地监控模具表面的脱模剂的状态并能够抑制生产率降低的、表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法和制造装置。 |
申请公布号 |
CN102933363A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201180028379.1 |
申请日期 |
2011.04.06 |
申请人 |
三菱丽阳株式会社 |
发明人 |
小泽觉;中井祐介 |
分类号 |
B29C33/58(2006.01)I;B29C33/70(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
B29C33/58(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法,其将模具表面的微细凹凸结构转印到物品主体的表面,从而制造所述物品,所述模具表面被脱模剂处理过,该制造方法包括:将微细凹凸结构转印到物品主体的表面;将所述物品主体从模具剥离后,测定模具表面的红外分光光谱;以及,根据模具表面的脱模剂的状态好坏,判定是否继续制造。 |
地址 |
日本东京都 |