基板处理装置及基板搬送方法

摘要

洗净处理装置系包含控制一连串的搬送动作之控制部，控制部系分别个别地控制容器搬送装置、在基板出入部的操作，及基板移载装置。控制部系具有行程作成部，其系在将第1批的基板投入至处理装置内的状态中，于容器搬送装置及基板出入部空闲的时间点，将收容未处理的第2批的基板的容器予以搬送至基板出入部，以总计的搬送时间能够形成适当的方式，作成个别调整容器搬送装置的动作时间点、在基板出入部的操作的时间点、及基板移载装置的动作时间点之搬送行程。