发明名称 |
利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响 |
摘要 |
本发明涉及激光-可交联材料(10)的使用,所述激光-可交联材料是非交联或部分交联的,用于在激光蚀刻过程中保护有机晶体管的电极。 |
申请公布号 |
CN102918676A |
申请公布日期 |
2013.02.06 |
申请号 |
CN201180022622.9 |
申请日期 |
2011.04.21 |
申请人 |
原子能和代替能源委员会 |
发明人 |
玛丽·埃茨曼;穆罕默德·本韦迪 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种制造有机晶体管的方法,包括以下步骤的方法:保护层(10)在基板(5)上的沉积,所述层包括一个激光‑可交联的材料,表现为非交联或部分交联的形式;导电层(4)的沉积旨在在所述保护层(10)上,形成晶体管的源极和漏极电极(6,7)或栅极(8);导电层(4)的激光蚀刻,导致形成晶体管的源极和漏极电极(6,7)或栅极(8);电介质层(9)的沉积;栅极(8)或源极和漏极电极(6,7)的沉积,半导体层(11)在源极和漏极电极(6,7)表面的沉积。 |
地址 |
法国巴黎 |