一种补偿直流自偏压的系统和方法

摘要

本发明公开一种补偿直流自偏压的系统，包括下电极、直流电源、检测模块和控制模块，其中，检测模块用于检测与等离子体处理设备中的直流自偏压存在对应关系的表征参量，并将其测量值传输至控制模块；控制模块根据该测量值产生第一控制信号，并将其传输至直流电源；直流电源根据第一控制信号调整其输出电压，以对直流自偏压进行补偿，从而减小/消除工件上直流自偏压的影响。此外，本发明还公开一种补偿直流自偏压的方法。本发明提供的系统和方法能够对直流自偏压进行实时补偿，因此，既可以提高直流自偏压的补偿精度，又可以使静电夹持装置能够更好地吸附晶片等工件，并且还可以减小氦气漏率、改善工艺结果，进而提高产品良率。

主权项

一种补偿直流自偏压的系统，包括等离子体处理设备的下电极、匹配网络、激励电源、直流电源，所述激励电源经由匹配网络与所述下电极相连，以向其施加激励功率；所述直流电源向所述下电极输出给定电压，所述等离子体处理设备还包括工艺模块控制器，所述工艺模块控制器用于控制工艺过程，其特征在于：所述系统还包括检测模块和节点微控制器，所述节点微控制器包括通信单元和控制模块，其中所述检测模块用于检测与等离子体处理设备中的直流自偏压存在对应关系的表征参量，并将其测量值传输至控制模块；所述通信单元用于将来自工艺模块控制器的直流电源输出设定值发送至所述控制模块；所述控制模块根据来自所述检测模块的测量值和来自所述工艺模块控制器的直流电源输出设定值产生第一控制信号，并将其传输至直流电源；所述直流电源根据来自所述控制模块的第一控制信号调整其输出电压，以对直流自偏压进行补偿。