晶圆电化学处理设备及其方法

摘要

在一用于晶圆电化学制程的装置中，一辅助虚拟电极中和了因容体中晶圆与阳极位偏所产生的电场。该装置可包含一具有长形搅动元件的搅动器，其一端接在一第一支撑部位，一端接在一第二支撑部位。一马达耦合至该第一支称部位使该搅动器沿着一线性路径移动。一线性导引部位与该第二支撑部位接合以引导搅动器的动作。制程系统中一机械臂含有一位置感应器可在晶圆受到机械臂之端效器带动时来判别晶圆的转动方位。适当的机械装置移动与/或转动机械臂支撑部位可以校正晶圆的转动方位。该系统可包含一设置于磁铁周围的围体，可将磁铁与制程用化学液隔绝。磁铁与机械臂的移动路径之间可以配置一个保护层，磁铁附近设置有数个可磁性吸引的回流路径，系统所使用的马达周围有设置数个保护层来降低磁性干扰。