| 摘要 |
Polysiliciumdendrite werden durch Ablagern von Silicium auf einem Polysiliciumstab oder einem anderen Substrat gezüchtet. Die Oberflächentemperatur wird auf eine Temperatur erhöht, bei der nadelartige Dendriten aufgrund der Ablagerung von Silicium aus siliciumhaltigen Molekülen in der umgebenden Reaktoratmosphäre gebildet werden. Anschließend wird die Oberflächentemperatur schrittweise reduziert, so dass Silicium, das sich auf den nadelartigen Dendriten ablagert, dazu führt, dass die Dendriten wachsen und eine im allgemeinen konisch erweiterte Struktur annehmen. |
