| 摘要 |
Ein Trennverfahren für ein Substrat einer optischen Einrichtung mit einem Basissubstrat und einer Schicht einer optischen Einrichtung, die an der Vorderseite des Basissubstrats ausgebildet ist, wird offenbart. Das Trennverfahren umfasst einen Blockausbildungsschritt bei dem ein Laserstrahl an das Substrat der optischen Einrichtung entlang einer ersten Trennlinie und einer zweiten Trennlinie, die beide durch das Zentrum des Substrats der optischen Einrichtung verlaufen, entlang von zumindest vier Blocksubstraten angelegt wird, einen ersten Schritt des Ausbildens einer Nut mittels Laserbearbeitung, bei dem ein Laserstrahl entlang der ersten Trennlinien angelegt wird, um dadurch eine Vielzahl an laserbearbeiteten Nuten entlang all der ersten Trennlinien auszubilden, und einen zweiten Schritt des Ausbildens einer Nut mittels Laserbearbeitung, bei dem ein Laserstrahl entlang all der zweiten Trennlinien angelegt wird, um dadurch eine Vielzahl an laserbearbeiteten Nuten entlang all der zweiten Trennlinien auszubilden. Der erste Schritt des Ausbildens der Nut mittels Laserbearbeitung und der zweite Schritt des Ausbildens der Nut mittels Laserbearbeitung werden abwechselnd durchgeführt, um dadurch jedes Blocksubstrat entlang all der ersten und zweiten Trennlinien in individuelle optische Einrichtungen zu unterteilen. |
