晶体生长炉用速率可调式真空泵

摘要

本实用新型公开一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。所述晶体生长炉用速率可调式真空泵通过采用变频器来调节电机转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，实现了对晶体生长炉炉腔压力的控制，在长晶过程中通过调节频率降低电机转速从而可以显著节约电能30%～40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3～4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。

主权项

一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，其特征在于：所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。