发明名称 |
用于超紫外线(EUV)光源之驱动雷射 |
摘要 |
在此描述了一种装置,其可以包含有一具有一振荡器腔室长度Lo并界定有一振荡器路径之振荡器;以及一与该振荡器连结以建立一包括有该振荡器路径之组合式光学腔室的多路径光学放大器,该组合式腔室具有一个长度L组合,其中L组合=(N+x)*Lo,其中“N”系为一整数而“x”系为一介于0.4和0.6之间的数值。 |
申请公布号 |
TWI382618 |
申请公布日期 |
2013.01.11 |
申请号 |
TW097145685 |
申请日期 |
2008.11.26 |
申请人 |
希玛股份有限公司 美国 |
发明人 |
艾瑟夫 亚历山大I;赫夫曼 贾兹R;伯威林 诺贝特R;拜卡诺夫 亚历山大N |
分类号 |
H01S3/091 |
主分类号 |
H01S3/091 |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |