| 发明名称 | 一种氮化镓基器件的湿法腐蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种氮化镓基器件的湿法腐蚀方法，其步骤包括：在氮化镓基器件表面淀积保护层；在保护层上涂敷光刻胶，并对待腐蚀区域进行光刻；刻蚀待腐蚀区域的保护层；去除剩余光刻胶；对氮化镓基器件在高温条件下进行氧化处理；将氧化处理后的氮化镓基器件置于腐蚀性溶液中进行腐蚀。本发明可制得槽底平整、台阶边缘光滑的腐蚀槽，并能有效减少对器件造成的损伤，适用于氮化镓基器件的隔离工艺以及其它腐蚀工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN102856188A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201210277907.3 | 申请日期 | 2012.08.06 |
| 申请人 | 北京大学 | 发明人 | 蔡金宝;王金延;刘洋;徐哲;王茂俊;于民;解冰;吴文刚 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人 | 余长江 |
| 主权项 | 一种氮化镓基器件的湿法腐蚀方法，其步骤包括：1）在氮化镓基器件表面淀积保护层：2）在所述保护层上涂敷光刻胶，并光刻腐蚀图形；3）刻蚀待腐蚀区域的保护层；4）去除剩余光刻胶；5）对氮化镓基器件在高温条件下进行氧化处理；6）将氧化处理后的氮化镓基器件置于腐蚀性溶液中进行腐蚀。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区颐和园路5号 | ||