磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元

摘要

一种磁头折片组合包括悬臂件、形成在悬臂件的挠性件的压电元件承载区域上的过渡层以及沉积在过渡层上的压电元件。所述压电元件与悬臂件电性连接，形成微致动器。本发明同时进行压电元件和悬臂件的制造、机械组装以及电性连接，因此操作过程简单，工艺时间短，磁头折片组合产率高，机械性能、动态和静态性能好。另外，本发明在挠性件上先成形一层过渡层再形成压电元件，其中过渡层为金属材料、金属氧化物、非金属材料或者无机盐，过渡层的采用使得操作控制容易，有助于提高磁头折片组合的性能。此外，压电元件与悬臂件的电性连接可通过喷溅工艺或印制工艺或电镀工艺实现，因此操作难度小，连接可靠性好。本发明公开了制造上述磁头折片组合的方法以及磁盘驱动单元。

主权项

一种磁头折片组合，包括：悬臂件，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件上设有压电元件承载区域；形成在所述压电元件承载区域上的过渡层，所述过渡层为金属材料或者非金属材料；以及沉积在所述过渡层上的压电元件，所述压电元件与所述悬臂件电性连接，形成微致动器；所述压电元件包括一层叠压结构，所述叠压结构包括形成在所述过渡层上的第一电极层、形成在所述第一电极层上的压电层，以及形成在所述压电层上的第二电极层；在所述叠压结构表面覆盖一层聚合物保护层；在所述第一电极层和第二电极层上分别形成一电触点，且所述电触点伸出所述保护层；所述压电元件承载区域包括左压电元件承载区域和右压电元件承载区域，所述左、右压电元件承载区域上均形成所述过渡层、第一电极层、压电层以及第二电极层，所述左压电元件承载区域上设有左电连接触点，所述右压电元件承载区域设有右电连接触点；所述左压电元件承载区域上的第一电极层的电触点与左电连接触点连接起来；所述右压电元件承载区域上的第一电极层的电触点与右电连接触点连接起来；以及所述左、右压电元件承载区域上的两个第二电极层的电触点连接起来。