一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置

摘要

本实用新型公开了一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置，包括有泵浦光源、探测光源、样品台和顺次设置的空间滤波器、探测光滤光片和光电探测器；泵浦光源至样品台之间顺次设置有泵浦光衍射分光装置、分色镜和聚焦成像透镜；探测光源至样品台之间顺次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、分色镜和聚焦成像透镜；四分之一波片设置于偏振分光镜一输出端的后端；空间滤波器设置于偏振分光镜另一输出端的后端。本实用新型在成像速度上比传统的对样品逐点扫描方法可以有很大提高，另外由于无需进行逐点扫描，具体检测及成像仪器设计可以避免使用移动部件，有利于提高仪器的稳定性、降低成本、进一步小型化以及拓宽应用领域。

主权项

一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置，包括有泵浦光源和探测光源，位于泵浦光源和探测光源后端的样品台和顺次设置的空间滤波器、探测光滤光片和光电探测器；其特征在于：从所述的泵浦光源至样品台之间顺次设置有泵浦光衍射分光装置、分色镜和聚焦成像透镜；从所述的探测光源至样品台之间顺次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、分色镜和聚焦成像透镜；所述的四分之一波片设置于偏振分光镜一输出端的后端；所述的空间滤波器设置于偏振分光镜另一输出端的后端；所述的光电探测器为光电探测器阵列。